????溫度傳感器通過該測溫單元感知溫度后形成電信號并輸出。在一實施例中，測溫單元為一熱電阻傳感結構，其具體形成過程為：步驟s：在氧化硅薄膜上淀積一層金屬層，金屬層為金屬鉑層，金屬鉑層呈連續弓字形結構。參考圖所示，在氧化硅薄膜上淀積一層金屬層，該金屬層可為金屬鉑層，即熱電阻傳感結構選用鉑熱電阻。在另一實施例中，也可選用其他電阻溫度系數較高的材料如鎳、鐵等。為減小溫度傳感器的尺寸，在小尺寸的基底上增大鉑熱電阻的接觸面積，將鉑熱電阻做成連續弓字形結構(如圖所示)。步驟s：在所述金屬鉑層外側兩端各淀積一層第二金屬層，用于引出所述溫度傳感器的輸出端子。繼續參見圖和圖，在金屬鉑層外側兩端淀積一層第二金屬層，該第二金屬層可為金屬鋁層，從金屬鋁處引出該溫度傳感器的輸出端子，即溫度傳感器的輸出導線與鋁層連接以通過鋁層與金屬鉑層連接。上述鉑熱電阻傳感器。利用金屬鉑在溫度變化時自身電阻值也會隨著溫度改變的特性來測量溫度，溫度傳感器的輸出端子與顯示儀表連接，顯示儀表會顯示受溫度影響得到的鉑電阻對應的溫度值。通常。形成測溫單元還包括鈍化步驟，即，步驟s：在金屬層上形成鈍化層。溫度傳感器的工作過程都是分別和一個電阻串聯后，對+5V電壓進行分壓，分壓后的電壓送入CPU內部。鄭州排氣溫度傳感器原理

????公司經營范圍包括：一般經營項目是：電子產品及其配件的技術開發與銷售；國內貿易等。本公司主營推廣銷售AD（亞德諾）,LINEAR（凌特）以及TI、MAXIM、NXP等國際有名品牌集成電路。產品廣泛應用于：汽車、通信、消費電子、工業控制、醫療器械、儀器儀表、安防監控等領域。測溫單元形成于空腔上方的氧化硅薄膜后得到的溫度傳感器性能較好。在其中一個實施例中，所述測溫單元包括：金屬層，所述金屬層為金屬鉑層，所述金屬鉑層呈連續弓字形結構；和第二金屬層，位于所述金屬鉑層外側兩端，用于引出所述溫度傳感器的輸出端子。在其中一個實施例中，所述測溫單元包括：多晶硅層，包括并排且間隔設置的n型多晶硅條和p型多晶硅條；和第三金屬層，所述第三金屬層包括位于相鄰多晶硅條之間的金屬結構，所述n型多晶硅條和p型多晶硅條通過所述金屬結構串聯，所述第三金屬層還包括位于所述多晶硅層外側兩端的第二金屬結構，用于引出所述溫度傳感器的輸出端子。附圖說明圖為一實施例中溫度傳感器制備方法的方法流程圖；圖a～c為一實施例中溫度傳感器制備方法各步驟對應生成的結構剖視圖。圖為一實施例中溫度傳感器側視圖；圖為與圖對應的溫度傳感器俯視圖。南京NTC溫度傳感器工藝雙金屬裝置也是溫度傳感器的一種，它在加熱時利用金屬膨脹的優勢。

????基底包括硅片和在硅片上形成的氧化硅薄膜，硅片和氧化硅薄膜之間形成有空腔；和測溫單元，測溫單元形成于所述空腔上方的氧化硅薄膜上，所述測溫單元用于感測環境溫度。如圖c所示，基底包括硅片和氧化硅薄膜，硅片和氧化硅薄膜之間形成有空腔。測溫單元是溫度傳感器的工作單元，溫度傳感器通過該測溫單元感知溫度后形成電信號并輸出，在本方案中，測溫單元形成于氧化硅薄膜上且位于空腔上方。在一實施例中，測溫單元為一熱電阻傳感結構，包括：金屬層，金屬層為金屬鉑層，金屬鉑層呈連續弓字形結構；和第二金屬層，位于金屬鉑層外側兩端，用于引出溫度傳感器的輸出端子。如圖和圖所示，氧化硅薄膜上淀積有一層金屬層，該金屬層為金屬鉑層，即熱電阻傳感結構選用鉑熱電阻。在另一實施例中，也可選用其他電阻溫度系數較高的材料如鎳、鐵等。為減小溫度傳感器的尺寸，在小尺寸的基底上增大鉑熱電阻的接觸面積，鉑熱電阻呈連續弓字形結構(如圖所示)。金屬鉑層外側兩端淀積有一層第二金屬層。該第二金屬層可為金屬鋁層，用于從金屬鋁處引出該溫度傳感器的輸出端子。深圳市美信美科技有限公司于2020年04月17日成立。

????且所述硅片在空腔上方連接起來，將所述空腔封閉。對開設有溝槽的硅片進行適當的熱處理，當硅片被加熱到一定溫度時，硅原子的振動能較大，導致原子的移動能加強，硅原子會發生遷移。由于硅片上開設有溝槽，且溝槽側壁的間距較小，當硅原子遷移運動達到一定程度時，硅原子會進入溝槽內，硅片內部的溝槽會發生形變，溝槽上部被硅封閉，若干溝槽中間部位相互連通，形成一空腔(如圖b所示)。即空腔處于硅片的中間，空腔的上部和下部均具有硅結構，上下硅結構被空腔隔離開。在一實施例中，熱退火的溫度可為℃。改變溝槽的間距，可以得到不同形態的空腔，且間距越大，所需的退火溫度就越高，但是退火的持續時間不超過min。在本實施例中，溝槽陣列中溝槽之間的間距大于內部溝槽的間距，如此可以避免在空腔邊緣處形成缺口。同時，熱退火需要在一隔離環境中進行，如真空環境或者惰性氣體環境，保證在熱退火過程中硅不會與環境中的物質發生化學反應。在本實施例中。熱退火在氫氣環境中進行。步驟s：氧化所述空腔上部的硅片得到氧化硅薄膜。深圳市美信美科技有限公司于2020年04月17日成立。公司經營范圍包括：一般經營項目是：電子產品及其配件的技術開發與銷售；國內貿易等。溫度傳感器也是電動汽車電子技術領域研究的重心內容之一。

????溝槽的寬度為溝槽側壁的大距離，如果溝槽為圓形，則溝槽的寬度為其直徑，如果溝槽為正方形，則溝槽的寬度為其對角的距離。步驟s120：熱退火使所述若干溝槽變形后相互連通形成一空腔，且所述硅片在空腔上方連接起來，將所述空腔封閉。對開設有溝槽21的硅片20進行適當的熱處理，當硅片被加熱到一定溫度時，硅原子的振動能較大，導致原子的移動能加強，硅原子會發生遷移。由于硅片上開設有溝槽，且溝槽側壁的間距較小，當硅原子遷移運動達到一定程度時，硅原子會進入溝槽21內，硅片內部的溝槽21會發生形變，溝槽21上部被硅封閉，若干溝槽21中間部位相互連通，形成一空腔22(如圖2b所示)。即空腔22處于硅片的中間，空腔22的上部和下部均具有硅結構，上下硅結構被空腔22隔離開。在一實施例中，熱退火的溫度可為1000℃。改變溝槽21的間距，可以得到不同形態的空腔，且間距越大，所需的退火溫度就越高，但是退火的持續時間不超過20min。在本實施例中，溝槽陣列中溝槽之間的間距大于內部溝槽的間距，如此可以避免在空腔邊緣處形成缺口。同時，熱退火需要在一隔離環境中進行，如真空環境或者惰性氣體環境，保證在熱退火過程中硅不會與環境中的物質發生化學反應。在本實施例中。空內環境溫度傳感器安裝于室內蒸發器進風口,由塑料件支撐,可用來檢測室內環境溫度是否達到設定值。長沙混合溫度傳感器IC

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????m需為偶數。第二金屬結構淀積于多晶硅層外側的兩端，以便于引出溫度傳感器的輸出端子。在本實施例中，第三金屬層為金屬鋁層。上述熱電偶傳感結構，利用兩不同類型的半導體兩端的溫度不同時，會在半導體內部產生溫差電動勢，不同類型的半導體其溫差電動勢不同。深圳市美信美科技有限公司于2020年04月17日成立。公司經營范圍包括：一般經營項目是：電子產品及其配件的技術開發與銷售；國內貿易等。本公司主營推廣銷售AD（亞德諾）,LINEAR（凌特）以及TI、MAXIM、NXP等國際有名品牌集成電路。產品廣泛應用于：汽車、通信、消費電子、工業控制、醫療器械、儀器儀表、安防監控等領域。將兩種半導體兩端連接形成閉合回路時，在回路中有電流產生，半導體兩端的溫差不同時，所產生的電動勢不同。在本方案中，采用n型半導體和p型半導體構成塞貝克結構且多個塞貝克結構串聯，可以增強溫度傳感器的靈敏度。在一實施例中，可以將溫度傳感器兩輸出端子作為冷端且保持冷端溫度恒定，將串聯的多晶硅層作為熱端感測實際環境溫度，當環境溫度發生變化時，冷端和熱端的溫差發生變化，因此冷端的電勢會發生變化，與顯示儀表連接后。鄭州排氣溫度傳感器原理